Pourquoi le nettoyeur à ultrasons est-il le premier choix pour nettoyer les semi-conducteurs ?

1. Équipement de nettoyage : les étapes de nettoyage passent par tous les maillons de la production de puces, et le nettoyage humide est la voie technique principale

1.1 L'étape de nettoyage couvre tous les aspects de la production de copeaux et constitue une garantie importante pour le rendement en copeaux

Le nettoyage est une partie importante du processus de fabrication des semi-conducteurs et l'un des facteurs les plus importants affectant le rendement des dispositifs à semi-conducteurs. Le nettoyage est une partie importante du processus de traitement et de fabrication des plaquettes. Afin de minimiser l'impact des impuretés sur le rendement en copeaux, il est non seulement nécessaire d'assurer un nettoyage unique efficace dans le processus de production réel, mais également d'être effectué fréquemment avant et après presque tous les processus. Le nettoyage des plaquettes de silicium monocristallin est un maillon nécessaire dans les technologies de traitement clés telles que la fabrication de plaquettes de silicium monocristallin, la photolithographie, la gravure et le dépôt.

1) Dans le processus de fabrication des plaquettes de silicium, la plaquette de silicium polie doit être nettoyée pour garantir la planéité et les performances de sa surface, améliorant ainsi le rendement du processus suivant.

2) Au cours du processus de fabrication de la plaquette, la plaquette doit être nettoyée avant et après les processus clés tels que la photolithographie, la gravure, l'implantation ionique, le décollement, la formation de film et le polissage mécanique pour éliminer les impuretés chimiques contaminées par la plaquette et réduire le taux de défaut. Améliorer le rendement.

3) Pendant le processus d'emballage de la puce, la puce a besoin d'un nettoyage TSV (via le silicium via), d'un nettoyage UBM/RDL (technologie de redistribution de métal à fond de bosse/film mince) et d'un nettoyage de liaison selon le processus d'emballage.